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RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。如有需要可加配測試臺使用。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
技術參數(shù)：
測量范圍 | 電阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方塊電阻：0.1～19999Ω/□； |
恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%； 顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；極性、超量程自動顯示； |
四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機測量zui大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機測量標準不確定度 | ≤5% |
外型尺寸 | 185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高) |
重量 | 350g |
電源 | 鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時； |
標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射； |
| 配置 | 四探針測試儀主機、四探針探頭 | 8500/套 | ||||||
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