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激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器在無塵車間的使用

瀏覽次數(shù):1836發(fā)布日期:2020-07-17
   激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是新一代觸摸屏便攜式塵埃粒子計(jì)數(shù)器,儀器采用彩色觸摸屏,外形美觀大氣,機(jī)身采用鋁合金材料,表面噴細(xì)砂銀灰色處理,小巧輕便;采用直流氣泵,連續(xù)工作穩(wěn)定,超低噪音,節(jié)能環(huán)保;內(nèi)置進(jìn)口數(shù)字流量傳感器,采樣流量動態(tài)準(zhǔn)確控制;供電可使用交流供電,也可使用內(nèi)置的大容量鋰電池供電,方便應(yīng)用于無交流電場所的移動檢測。儀器是目前藥廠,電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首要之選,其主要應(yīng)用范圍包括:
  潔凈室(區(qū))潔凈度的測試;
  電子廠、藥廠潔凈室的日常維護(hù)監(jiān)測;
  高濃度氣溶膠的測量;
  空氣中懸浮粒子的測量。
  集成電路制造業(yè)是需要在一個超凈環(huán)境中進(jìn)行的,它是使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴(yán)格的要求,不同的工藝對清潔度有不同的要求。
  半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過程中會接觸到很多污染物,比如無機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物、氣體雜質(zhì)等等。另外,不適當(dāng)?shù)臏囟?、濕度、光照、靜電超標(biāo)、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無機(jī)離子、有機(jī)物質(zhì)、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過一定限度時,集成電路產(chǎn)品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導(dǎo)致電路泄漏和異常電氣特性,輕則影響電路性能和使用壽命,重則導(dǎo)致電路報(bào)廢。
  鑒于此需要使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器來對半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間的環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測,保證產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到潔凈標(biāo)準(zhǔn),塵埃粒子計(jì)數(shù)器配置簡單,可從一個儀器轉(zhuǎn)移到另一個儀器,易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱,多功能安裝選項(xiàng),無縫集成到設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。
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